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MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanical System),微機電系統(tǒng)是指可批量制作的,將微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器,MEMS是用傳統(tǒng)的半導體工藝和材料,以半導體制造技術為基礎發(fā)展起來的一種**的制造技術
1、優(yōu)點 (1)溫度穩(wěn)定性好 電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關,這有利于選擇溫度系數低的材料,又因本身發(fā)熱較小,影響穩(wěn)定性甚微。而電阻傳感器有銅損,易發(fā)熱產生零漂。 (2)結構簡單 電容式傳感器結構簡單,易于制造和保證高的精度,可以做得非常小巧,以實現某些特殊的測量;能工作在高溫,強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中,可以承受很大的溫度變化,承受高壓力,高沖擊,過載等;能測量**高溫和低壓差,也能對
很多人不知道光電傳感器有多少分類,也不知道怎么選型,小編一文讓你快速了解光電傳感器,其中光電傳感器按檢測方式分為漫反射型、反射板型、對射型,根據相應的檢測方式有下列這些不同結構的光電傳感器 ⑴槽型光電傳感器 把一個光**器和一個接收器面對面地裝在一個槽的兩側的是槽形光電。發(fā)光器能發(fā)出紅外光或可見光,在無阻情況下光接收器能收到光。但當被檢測物體從槽中通過時,光被遮擋,光電開關便動作。輸出一個開關控
限位開關又稱行程開關,是安裝在相對靜止的物體上或運動的物體上,當動物接近靜物時,開關的連桿驅動開關的接點引起閉合的接點分斷或者斷開的接點閉合。 工業(yè)限位開關廣泛用于各種檢測與控制應用。限位開關可在允許物理接觸的區(qū)域中實現有/無檢測。當檢測到一個物體時,開關執(zhí)行機構動作,開關主體內的常開或常閉電觸點會改變狀態(tài),從而實現交流/直流電路的通斷。 當安裝到重型建筑機械、農用設備或固體廢物處理車上后,限位
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