最適合壓電效應(yīng)的應(yīng)用

時(shí)間：2022-12-16作者：上海銳放自控技術(shù)有限公司瀏覽：258

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  詞條說明

• 光柵尺工作原理

  ? ?光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器或光柵尺傳感器，是通過利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖，具有檢測(cè)范圍大，檢測(cè)精度高，響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如，在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè)，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用。光柵尺工作原理以透射光柵為

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  nanomotion用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺(tái)。行程超過500mm，編碼器分辨率為0.1nm，定位精度為±2nm。10小時(shí)以上定位穩(wěn)定性達(dá)到1nm。

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  COBRA自動(dòng)放置系統(tǒng)案例——Galil與COBRA合作使組件就位精度超過±0.005英寸隨著對(duì)體積更小、更先進(jìn)的電子設(shè)備（如手機(jī)和PDA）的需求不斷增加，對(duì)更小的模切、轉(zhuǎn)換組件的需求也在持續(xù)增加。通常是將一些背膠薄膜、泡沫或箔片切割成特定的形狀，并以連續(xù)的襯墊形式交付給制造商。它們將用于電子設(shè)備組件的絕緣、保護(hù)和粘合。精度、降低成本和提高可靠性成為了至關(guān)重要的問題，因而人工將這些組件放置到目標(biāo)區(qū)

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  掃描電子/聚焦離子束顯微鏡（SEM/FIB）-由Nanomotion設(shè)計(jì)和制造的X/Y/Theta/Z平臺(tái)。在清潔、真空環(huán)境中工作，具有納米級(jí)的定位穩(wěn)定性。