上海真空泵 普旭真空泵排除方法

時(shí)間：2021-12-10作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：253

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 【工業(yè)真空泵】羅茨泵的工作原理

  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)

• 【普旭真空泵配件】移動(dòng)式負(fù)壓真空站 結(jié)構(gòu)原理

  移動(dòng)式負(fù)壓真空站結(jié)構(gòu)原理旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。旋片式真空泵是真空技術(shù)中基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂雙級(jí)，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來(lái)。一般多做成雙級(jí)的，以獲得較高的真空度。旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)

• 【工業(yè)真空泵】 真空泵的操作

  真空泵的操作1、開機(jī)前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間，潤(rùn)滑油不可太多，亦或太少，不足時(shí)應(yīng)補(bǔ)充。禁止混用不同牌號(hào)的潤(rùn)滑油，補(bǔ)充潤(rùn)滑油時(shí)，應(yīng)確定系統(tǒng)內(nèi)已經(jīng)沒有壓力時(shí)，方可打開加油塞。接上電源線及接地線，測(cè)試電壓是否準(zhǔn)確，電源是否無(wú)誤。?2、試車、開機(jī)與停機(jī)試車1.關(guān)閉進(jìn)氣口。2.點(diǎn)動(dòng)電機(jī)檢查真空泵的旋轉(zhuǎn)方向，如旋轉(zhuǎn)方向不對(duì)，則對(duì)調(diào)三相電源中的任意兩相。開機(jī)1.打開進(jìn)氣口。2.合上電源

• 【工業(yè)真空泵】旋片式真空泵主要泵體

  旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。?旋片真空泵的工作原理圖是怎樣的？?旋片真空泵的工作原理：?旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)