等離子清洗機(jī)用于半導(dǎo)體IC領(lǐng)域

時(shí)間：2022-03-29作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：2668

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• 詞條

  詞條說明

• 等離子清洗機(jī)用于半導(dǎo)體晶圓清洗工藝

  等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝中的應(yīng)用：等離子體清洗機(jī)具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環(huán)境污染等問題。等離子清洗機(jī)常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應(yīng)系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強(qiáng)電場作用下,使氧氣產(chǎn)生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質(zhì)被抽走。等離子清洗機(jī)在去膠工藝中具有操作方便、表面干凈、無劃傷、有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量等優(yōu)點(diǎn),而且等離子清洗機(jī)不用酸、堿及有機(jī)溶劑等等離子清洗

• 等離子清洗機(jī)增強(qiáng)附著性能

  等離子清洗機(jī)的處理技術(shù)是指通過等離子體中的高能粒子對(duì)表面進(jìn)行轟擊，使表面物質(zhì)降解，增加表面粗糙度，若等離子體中有其他活性粒子，如氧離子，則可與表面物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)而使表面活化的一種方法。等離子清洗機(jī)處理技術(shù)適用于纖維、塑料、橡膠以及復(fù)合材料的表面處理。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)

• 等離子清洗機(jī)在塑膠橡膠行業(yè)的應(yīng)用

  等離子清洗機(jī)的等離子體流為中性，不帶電 ，可以對(duì)各種高分子、金屬、半導(dǎo)體、橡膠、PCB電路板等材料進(jìn)行表面處理。等離子表面處理機(jī)器處理后去除了碳化氫類污物，如油脂，輔助添加劑，有利于粘結(jié)、性能持久穩(wěn)定，保持時(shí)間長。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子

• 等離子處理機(jī)在紡織行業(yè)的應(yīng)用

  等離子體清洗機(jī)在紡織中的應(yīng)用：優(yōu)化織物的前處理過程，顯著改善潤濕性，提高前處理效率；改進(jìn)染色和印花工藝，使工藝環(huán)保、節(jié)能減排；在印染后整理過程中， 提高織物的附加值，對(duì)織物抗靜電性、抗起毛起球性、易去污性、拒水拒油性等都有著顯著的效果；等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)